219м, диплом: «Снижение оптических и рекомбинационных потерь в фотоэлектрических преобразователях солнечной энергии»

Введение . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

8

1.

ПРИНЦИПЫ РАБОТЫ И ОСОБЕННОСТИ КОНСТРУКЦИЙ КРЕМНИЕВЫХ СОЛНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

10

1.1.         Физические основы функционирования кремниевых солнечных элементов . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

10

1.2. Конструкции и методы изготовления кремниевых солнечных элементов. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

15

2.

МЕТОДЫ СНИЖЕНИЯ ОПТИЧЕСКИХ И РЕКОМБИНАЦИОННЫХ ПОТЕРЬ В ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯХ. . . . . .

31

2.1.  Исследование оптических потерь в ФЭП. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

31

2.2. Снижение рекомбинационных потерь в фотоэлектрических преобразователях солнечной энергии. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

38

3.

РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО МАРШРУТА ИЗГОТОВЛЕНИЯ СОЛНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ С ПОВЫШЕННОЙ ЭФФЕКТИВНОСТЬЮ ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПРЕОБРАЗОВАНИЯ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

46

4.

РАЗРАБОТКА КОНСТРУКЦИИ МИШЕННОГО УЗЛА МАГНЕТРОННОЙ СИСТЕМЫ РЕАКТИВНОГО РАСПЫЛЕНИЯ . . .

49

4.1 Требования к мишенному узлу. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

49

4.2 Выбор материалов деталей и методов их изготовления. . . . . . . . . . .

51

5.

МЕТОДИКА ПРОВЕДЕНИЯ ИССЛЕДОВАНИЙ ФОРМИРОВАНИЯ СЛОЕВ ОКСИДА АЛЮМИНИЯ РЕАКТИВНЫМ МАГНЕТРОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

52

5.1 Разработка структурной схемы исследований. . . . . . . . . . . . . . . . . .

52

5.2 Выбор технических средств для проведения исследований. . . . . . .

54

5.3 Выбор основных рабочих соотношений. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

58

5.4 Анализ процесса формирования оксида алюминия при реактивном магнетронном распылении. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

60

6.

ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ПРОЦЕССА ФОРМИРОВАНИЯ СЛОЕВ ОКСИДА АЛЮМИНИЯ РЕАКТИВНЫМ МАГНЕТРОННЫМ РАСПЫЛЕНИЕМ. . . . . . . . . . . .

64

6.1 Влияние режима работы распылительной системы на свойства слоев оксида алюминия. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

64

6.2 Исследование влияния процентного содержания кислорода на режимы работы распылительной системы и свойства формируемых слоев оксида алюминия. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

66

7.

ОХРАНА ТРУДА, ЭКОЛОГИЧЕСКАЯ БЕЗОПАСНОСТЬ, ЭНЕРГОСБЕРЕЖЕНИЕ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .  . . . . . . . .

71

8.

ТЕХНИКО-ЭКОНОМИЧЕСКОЕ ОБОСНОВАНИЕ

Литература